氮化硅在半导体中有哪些应用
氮化硅陶瓷(Si3N4)是一种重要的结构材料,它是一种超硬物质,具有固有的润滑性和耐磨性。作为用于恶劣环境的天线罩材料,氮化硅陶瓷制成的天线罩可以用于6-7Ma的高速飞机,强度高,抗热震性好挡油环尺寸标准,抗雨水冲刷性好。
氮化硅陶瓷的物理性能
在Si3N4结构中,α相结构的四面体晶体形状发生扭曲,而β相由于氧原子在α相中形成强的Si-O-Si离子键,因此在热力学上更稳定,使α相四面体中的[Si-N4]四面体容易发生取向变化,使链变直,调整原子位置,使温度达到1300以上时α相转变为β相°C,使其结构稳定。氮化硅是一种共价化合物,分子间通过强共价键相互融合,具有较高的强度和熔点。
降低材料的热膨胀系数,提高材料的导热性。这种方法主要是为了减少热冲击时产生的热应力。前面说过,氧化锆陶瓷材料的热膨胀系数的大小与稳定剂的种类有关,添加量与CaO稳定的氧化锆的热膨胀系数较大有一定的关系,这可以从空位来理解浓度。
氮化硅是一种共价化合物,分子间通过强共价键相互融合,具有较高的强度和熔点。
氮化硅陶瓷的化学性质
氮化硅陶瓷化学性质稳定,耐腐蚀。它们不与除氢氟酸外的其他无机酸反应。它们在 800°C 的干燥气氛中不与氧气发生反应。当温度超过800℃时,表面开始形成氧化硅膜。 ,随着温度的升高挡油环尺寸标准,氧化硅膜逐渐趋于稳定,在1000℃左右可以与氧形成致密的氧化硅膜,直到1400℃才能保持稳定。
密度:3.1-3.3,抗弯强度:600-,颜色:黑灰色,纯度:99.9%
制造商:海河精密,特性:自润滑陶瓷,显微结构:其他,形状:管状
功能:固定陶瓷,产品参数:160*20*10MM,价格:35元/件,产地:青海玉树市